发明名称 Lichtempfindliches Polymer.
摘要
申请公布号 DE68910563(D1) 申请公布日期 1993.12.16
申请号 DE19896010563 申请日期 1989.04.10
申请人 CHISSO CORP., OSAKA, JP 发明人 MAEDA, HIROTOSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KUNIMUNE, KOUICHI, ICHIHARA-SHI CHIBA-KEN, JP
分类号 C08G69/00;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038;H04N5/92;H04N9/79 主分类号 C08G69/00
代理机构 代理人
主权项
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