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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326712(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920123574 申请日期 1992.05.15
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 KAWABATA SOJI
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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