MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19920126530-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05326689(A)	申请公布日期	1993.12.10
申请号	JP19920126530	申请日期	1992.05.20
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	YAMADA YOSHIYUKI
分类号	H01L21/28;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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