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发明名称 MANUFACUTRE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05326683(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920126137 申请日期 1992.05.19
申请人 ROHM CO LTD 发明人 UEDA SHIGEYUKI
分类号 H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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