发明名称 WIRING PATTERN STRUCTURE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326728(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920129041 申请日期 1992.05.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO YOSHIO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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