发明名称 CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05326476(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920249252 申请日期 1992.09.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 NISHI MITSUO;HONDA YOSHIYUKI;KURODA YUKITERU;MUKAI EIICHI
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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