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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH05326952(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920128959 申请日期 1992.05.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOSHIDA TAKESHI
分类号 H01L27/088;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/338;H01L21/8234;H01L27/08;H01L29/772;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/808;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
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