| 发明名称 |
ADHESION OF FINE GRANULAR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05326528(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
| 申请号 |
JP19920124463 |
申请日期 |
1992.05.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA KATSUHISA;ODAJIMA HITOSHI;FUKAZAWA HIDEYUKI |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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