| 发明名称 |
METHOD FOR DRYING SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05325271(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
| 申请号 |
JP19920148586 |
申请日期 |
1992.05.15 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
IWAI MASATO;AOKAGE SHIGENORI;TSUCHIYA MASAO;AYUKAWA NOZOMI |
| 分类号 |
B05C9/10;F26B11/08;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
B05C9/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
