发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05326856(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920126531 申请日期 1992.05.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOKOYAMA FUMITAKA
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8249;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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