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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05325874(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920128372 申请日期 1992.05.21
申请人 SONY CORP 发明人 KIMURA HIDEKI
分类号 H01J27/02;H01J37/05;H01J37/09;H01J37/317;H01J49/26;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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