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发明名称
KAPACITIV ABSOLUTTRYCKOMVANDLARE
摘要
申请公布号
FI89982(C)
申请公布日期
1993.12.10
申请号
FI19880004644
申请日期
1988.10.10
申请人
MKS INSTRUMENTS,INC.
发明人
BENSON,RICHARH A.;DENNER,JOHN A.
分类号
G01L;G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12
主分类号
G01L
代理机构
代理人
主权项
地址
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