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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326715(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920126420 申请日期 1992.05.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIMURA TETSUO
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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