发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05326569(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920130459 申请日期 1992.05.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ITAKURA KEIJIRO;NOBUSADA SHIYUNEI;TOYODA YASUYUKI;KOKUSENYA NOBORU;SAITO YUKIO
分类号 H01L29/762;H01L21/339;(IPC1-7):H01L21/339;H01L29/796 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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