| 发明名称 |
WIRING FORMATION DEVICE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05326506(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
| 申请号 |
JP19920123198 |
申请日期 |
1992.05.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAMIMURA TAKASHI;HONGO MIKIO;MIZUKOSHI KATSURO;SANO HIDEZO;TAKAHASHI TAKAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/82;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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