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发明名称 COUNTING METHOD OF IMPLANTED AMOUNT IN ION-IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05326437(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920130351 申请日期 1992.05.22
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 AMANO KAZUYUKI
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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