发明名称 LAYOUT DESIGN SUPPORTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326836(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920124570 申请日期 1992.05.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OCHI YOSHIKIMI;MURAKAMI MASAAKI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;G06F15/60 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
地址