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发明名称 METHOD FOR EVALUATING LATCH-UP WITHSTANDING CAPACITY
摘要
申请公布号 JPH05326656(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920133591 申请日期 1992.05.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YASUOKA SEIJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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