发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05326693(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920282771 申请日期 1992.10.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AKIYAMA HAJIME
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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