发明名称 OHMIC ELECTRODE AND ITS FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05326439(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920147916 申请日期 1992.05.15
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAMURA FUMIHIKO;FUNATO KENJI;TAIRA KENICHI;KAWAI HIROHARU
分类号 H01L21/28;H01L29/68;H01S5/042;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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