发明名称 |
OHMIC ELECTRODE AND ITS FORMATION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05326439(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
申请号 |
JP19920147916 |
申请日期 |
1992.05.15 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NAKAMURA FUMIHIKO;FUNATO KENJI;TAIRA KENICHI;KAWAI HIROHARU |
分类号 |
H01L21/28;H01L29/68;H01S5/042;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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