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发明名称 ION-IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05326435(A) 申请公布日期 1993.12.10
申请号 JP19920127567 申请日期 1992.05.20
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAGUCHI NOBUYUKI;HORIUCHI ATSUSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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