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发明名称 Anlage zur Erzeugung dünner Schichten.
摘要
申请公布号 DE68910378(D1) 申请公布日期 1993.12.09
申请号 DE19896010378 申请日期 1989.05.05
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KAMAJI, HIDEKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA 243, JP;ARAKI, SHIN, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 226, JP
分类号 C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
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