| 摘要 |
Un ensemble aimant de pulvérisation (10) comprend une pièce polaire de forme plate (14) constituée en un matériau magnétiquement perméable ainsi qu'un aimant central (16) positionné sensiblement au centre de la pièce polaire (14) et orienté de sorte que son orientation magnétique nord-sud soit sensiblement perpendiculaire à la pièce polaire de forme plate (14). Une pluralité d'aimants externes (26) sont placés autour de l'aimant central (16), chacun de ces aimants externes ayant une orientation magnétique nord-sud également perpendiculaire à la pièce polaire, mais opposée à l'orientation de l'aimant central (16). Une pluralité d'aimants internes primaires (20) sont agencés autour de l'aimant central (18), entre l'aimant central et les aimants externes (26), chaque aimant interne primaire (20) ayant une orientation magnétique nord-sud parallèle à la pièce polaire de base et perpendiculaire aux orientations magnétiques de l'aimant central et des aimants externes. L'ensemble aimant de pulvérisation obtenu produit un champ magnétique ayant des lignes de flux magnétique qui définissent une région de pulvérisation adjacente à la surface frontale de la cible et à l'intérieur du corps cible. Les lignes de flux magnétique forment un lob magnétique supérieur (32), un lob magnétique inférieur (38), un lob magnétique interne (34) et un lob magnétique externe (36), tous ces lobs étant situés essentiellement à l'intérieur de la région de pulvérisation. En outre, les forces et orientations des lobs magnétiques sont telles qu'un point nul (31) existe entre les lobs magnétiques supérieur, inférieur, interne et externe. |
