胶体敏感薄膜气敏元件

摘要

本发明涉及气体敏感薄膜的制备技术，以及用该技术对乙醇、CO和H₂具有高选择性的薄膜气敏元件。本发明方法是选用敏感原材料，制备稳定的溶胶并定量掺杂碱土元素、稀土元素和贵金属元素，再采用浸涂法或旋转涂布法，在烧制好电极的瓷片或瓷管上形成胶体薄膜，经真空干燥，温度程序处理和气氛处理，最后得到稳定的气敏薄膜。由于掺杂、温度处理、程序升温的不同，分别得到对乙醇、CO和H₂具有高选择性的元件。使用本发明方法制作的敏感薄膜，成本比用一般工艺制作的薄膜降低30-50％，元件的一致性和稳定性都明显提高。

主权项

1、一种气体敏感薄膜元件，其特征在于用溶胶技术制备敏感薄膜。