共基面二维超精密工作台

摘要

本实用新型为超精密加工和测量领域中的共基面二维超精密工作台，其相互垂直的X、Y导轨以精密平板为共同基面，从原理上比现有的二维工作台减少误差四分之一，导轨面精加工的工艺性好，容易提高加工精度，适用于电子束曝光机等微电子技术领域中的超精密加工和测量及其它需要超精密定位、位移的技术领域。

主权项

一种共基面二维超精工作台，由基面(1)、导轨(3)、方框导块(4)、工作台体(5)和气浮块(9)(10)(11)组成，其特征在于导轨(3)与基面(1)固联，其斜面与基面组成x方向燕尾式静压气浮导轨，方框导块(4)与x方向燕尾导轨相对应处安装气浮块(10)，方框导块(4)借助气浮块(10)沿x方向燕尾导轨运动，方框导块(4)的中部矩形中空，与x方向垂直的y方向内侧为斜面，该斜面与基面组成y方向燕尾式静压气浮导轨，工作台体(5)套在方框导块(4)中，在与y方向燕尾导轨相对应处安装气浮块(9)(10)，工作台体(5)即可被方框导块(4)带动沿x方向运动，又能在方框中沿y方向运动，方框导块(4)与工作台体(5)以基面(1)为共同水平基面。