Reflector for excimer laser and excimer laser apparatus using the reflector.,申请号EP19880102823-传众专利搜索

发明名称	Reflector for excimer laser and excimer laser apparatus using the reflector.
摘要
申请公布号	EP0280299(B1)	申请公布日期	1993.12.08
申请号	EP19880102823	申请日期	1988.02.25
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.	发明人	MIYATA, TAKEO;IWABUCHI, TAKASHI
分类号	G02B1/10;G02B5/08;H01S3/08;(IPC1-7):G02B1/10	主分类号	G02B1/10
代理机构		代理人
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