| 发明名称 |
SCANNING MEASURING APPARATUS UTILIZING TUNNEL CURRENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05322511(A) |
申请公布日期 |
1993.12.07 |
| 申请号 |
JP19920148746 |
申请日期 |
1992.05.15 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
KURODA HIROSHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q60/10;G01Q60/12;G01Q60/16;H01J37/28;H01L41/09;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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