发明名称 SURFACE FOREIGN MATTER INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05322781(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920126136 申请日期 1992.05.19
申请人 SONY CORP 发明人 KAMIIDE KOYO
分类号 G01B11/30;G01N15/14;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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