| 发明名称 |
MIST SUPPLY DEVICE FOR FORMING ATOMIZING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05320919(A) |
申请公布日期 |
1993.12.07 |
| 申请号 |
JP19920224768 |
申请日期 |
1992.07.31 |
| 申请人 |
TAIYO YUDEN CO LTD |
发明人 |
IMAI MIZUHO;ITO ATSUO;SEKIGUCHI MIKIO;IIDA HIDEYO |
| 分类号 |
C23C18/12;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/283;H01L21/288;H01L31/042;(IPC1-7):C23C18/12 |
主分类号 |
C23C18/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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