发明名称 HEAT RESISTANT PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH05323625(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920130837 申请日期 1992.05.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANI MOTOAKI;MIYAHARA SHOICHI;ITO TAKASHI;SASAKI MAKOTO;HORIKOSHI EIJI
分类号 G03G5/05;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/037;H01L21/027;(IPC1-7):G03G5/05 主分类号 G03G5/05
代理机构 代理人
主权项
地址