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发明名称 SURFACE INFORMATION DETECTING DEVICE FOR INSPECTION OBJECT
摘要
申请公布号 JPH05322786(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920132453 申请日期 1992.05.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKA KOJI;ANDO MORITOSHI
分类号 G01B11/30;G01N21/64;G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00;H05K3/00;(IPC1-7):G01N21/88;G06F15/64 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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