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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05320917(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920123757 申请日期 1992.05.15
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 FUJITA ISAMU;HAMADA SHINKO;AIKAWA HARUHIKO
分类号 C23C16/52;G01B11/06;G01B15/02;(IPC1-7):C23C16/52 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
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