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发明名称 FLAW INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05322791(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19910347247 申请日期 1991.12.27
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD;OMRON CORP 发明人 IWATA MINORU;HORI MITSUO;NAKAYAMA NOBORU;TAKEMATSU YOSHIAKI;KATO TOSHIHARU
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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