| 发明名称 |
Method of integrated circuit fabrication having planarized dielectrics |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5268332(A) |
申请公布日期 |
1993.12.07 |
| 申请号 |
US19920975235 |
申请日期 |
1992.11.12 |
| 申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
ALUGBIN, DAYO;NKANSAH, FRANKLIN D.;OLASUPO, KOLAWOLE R. |
| 分类号 |
C23C14/00;C23F1/00;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/465 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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