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发明名称 VACUUM EVAPORATION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05320881(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920128718 申请日期 1992.05.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA KAZUTO
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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