SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE,申请号JP19920128621-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05322782(A)	申请公布日期	1993.12.07
申请号	JP19920128621	申请日期	1992.05.21
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	NAKAKI JIICHI
分类号	G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01B11/24
代理机构		代理人
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