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发明名称 DEVICE FOR MEASURING AND EVALUATING FINE SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH05322554(A) 申请公布日期 1993.12.07
申请号 JP19920151391 申请日期 1992.05.19
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 FUKUCHI YASUHIKO;HASHIMOTO AKIRA;IGARASHI TERUO;NAGASAWA KIYOSHI;MURAYAMA TAKESHI;MORIMOTO TAKASHI
分类号 G01B21/30;G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q70/06;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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