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发明名称 PLASMA CVD METHOD FOR USING PULSED WAVEFORM
摘要
申请公布号 KR930011413(B1) 申请公布日期 1993.12.06
申请号 KR19910016843 申请日期 1991.09.25
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY CO., LTD. 发明人 MIYANAKA, AKIHARU;INOUE, TORU;YAMAZAKI, SUNPEI
分类号 C23C16/00;C23C16/26;C23C16/515;C23C16/517;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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