| 发明名称 |
METHOD FOR APPLICATION OF RESIST AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05317772(A) |
申请公布日期 |
1993.12.03 |
| 申请号 |
JP19920154076 |
申请日期 |
1992.05.22 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
NAKAMURA SHINICHI |
| 分类号 |
B05C3/132;B05D1/18;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05C3/132 |
主分类号 |
B05C3/132 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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