发明名称 |
PROCEDE DE CROISSANCE DE COUCHES HETEROEPITAXIALES. |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2682128(B1) |
申请公布日期 |
1993.12.03 |
申请号 |
FR19910012352 |
申请日期 |
1991.10.08 |
申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
PRIBAT DIDIER;GERARD BRUNO;LEGAGNEUX PIERRE |
分类号 |
C30B25/02;C30B25/04;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B25/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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