发明名称 PROCEDE DE CROISSANCE DE COUCHES HETEROEPITAXIALES.
摘要
申请公布号 FR2682128(B1) 申请公布日期 1993.12.03
申请号 FR19910012352 申请日期 1991.10.08
申请人 THOMSON CSF 发明人 PRIBAT DIDIER;GERARD BRUNO;LEGAGNEUX PIERRE
分类号 C30B25/02;C30B25/04;C30B25/18;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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