| 发明名称 |
CLEANING METHOD FOR WORKPIECE TRANSFER MEANS IN VACUUM CONTAINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05319545(A) |
申请公布日期 |
1993.12.03 |
| 申请号 |
JP19920128720 |
申请日期 |
1992.05.21 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUEMITSU TOSHIYUKI;OKUDA AKIRA;TAKIZAWA TAKAHIRO;SUEYOSHI TAKASHI |
| 分类号 |
B08B6/00;B65G45/00;B65G45/10;(IPC1-7):B65G45/10 |
主分类号 |
B08B6/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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