Vorrichtung zum Nachschärfen der Schneidkante von Trennwerkzeugen beim Abtrennen von Scheiben von stab- oder blockförmigen Werkstücken, insbesondere aus Halbleitermaterial, ihre Verwendung und Sägeverfahren.
摘要
申请公布号
DE59003241(D1)
申请公布日期
1993.12.02
申请号
DE19905003241
申请日期
1990.12.06
申请人
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 84489 BURGHAUSEN, DE
