发明名称 Verfahren zum mit Hilfe Eines Lasers selektiven Anbringen eines in der Flüssigkeitsphase befindlichen Metalles auf einem Substrat.
摘要
申请公布号 DE68910237(D1) 申请公布日期 1993.12.02
申请号 DE19896010237 申请日期 1989.08.16
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VAN DER PUTTEN, ANDREAS MARTINUS THEODORUS PAULUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;RIKKEN, JOHANNES MATHIAS GERARDUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;JACOBS, JOHANNES WILHELMUS MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;DE KORT, CORNELIS GERARDUS CLEMENS MARIA, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 C23C18/08;C23C18/14;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/18;H05K3/22;(IPC1-7):C23C18/14;H01L21/320;H01L21/60;H01L21/90 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
主权项
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