PELICULA DE HIDRURO DE TITANIO.

摘要

SE PRESENTA UN PROCESO DE BAJA TEMPERATURA, DE ACUERDO CON EL CUAL SE DEPOSITA UNA PELICULA DE METAL Y POSTERIORMENTE SE CONVIERTE EN UNA PELICULA DE HIDRURO DE METAL POR MEDIO DE UN PLASMA DE HIDROGENO FRIO. POR MEDIO DE ESTE METODO, PELICULAS HOMOGENEAS Y ESTABLES DE HIDRURO DE TITANIO O DE HIDRUROS DE OTROS METALES PUEDEN DEPOSITARSE SOBRE METAL, CRISTAL Y EN MATERIALES PLASTICOS.