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发明名称
Isolation technique for silicon germanium devices
摘要
申请公布号
US5266813(A)
申请公布日期
1993.11.30
申请号
US19920825230
申请日期
1992.01.24
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
COMFORT, JAMES H.;HARAME, DAVID L.;STIFFLER, SCOTT R.
分类号
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L31/12
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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