发明名称 Isolation technique for silicon germanium devices
摘要
申请公布号 US5266813(A) 申请公布日期 1993.11.30
申请号 US19920825230 申请日期 1992.01.24
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COMFORT, JAMES H.;HARAME, DAVID L.;STIFFLER, SCOTT R.
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L31/12 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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