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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1223784(C) 申请公布日期 1993.11.30
申请号 SU19843782094 申请日期 1984.08.16
申请人 LATYSHEV A.V.;LOMAKO V.M.;PROKHOTSKIJ YU.M.;SOLOVEV I.L.;TARASOVA O.V. 发明人 LATYSHEV A.V.;LOMAKO V.M.;PROKHOTSKIJ YU.M.;SOLOVEV I.L.;TARASOVA O.V.
分类号 H01L21/26;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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