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发明名称
SPECIMEN RETAINER
摘要
申请公布号
JPH05315435(A)
申请公布日期
1993.11.26
申请号
JP19920121711
申请日期
1992.05.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
KITSUNAI HIROYUKI;TOKISUE HIROMITSU
分类号
B23Q3/15;B65G49/07;B65H5/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B23Q3/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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