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经营范围
发明名称
GAS SUPPLYING DEVICE FOR FIB ASSIST DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05315287(A)
申请公布日期
1993.11.26
申请号
JP19920118857
申请日期
1992.05.12
申请人
JEOL LTD
发明人
KASAHARA HARUO
分类号
C23C16/48;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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