| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05315269(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19930030481 |
申请日期 |
1993.02.19 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO MASASHI;MIYAUCHI MASATO;HANNA JUNICHI |
| 分类号 |
C23C16/30;G03G5/08;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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