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发明名称
I/F SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH05315415(A)
申请公布日期
1993.11.26
申请号
JP19920146265
申请日期
1992.05.12
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKAI IWAO
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/12;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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